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Messung schneller Druckänderungen im Grobvakuumbereich: Vergleich des dynamischen Verhaltens von Wärmeleitungs‐, kapazitiven, piezoresistiven und Kombinationsvakuummetern.

Published in:

Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 20, doi. 10.1002/vipr.201900722

By:

Stiebritz, Ingo

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Article

Inhalt: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 4, doi. 10.1002/vipr.201970509
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Personen: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 13, doi. 10.1002/vipr.201970504
Publication type:: Article

Innovationsmotor Sputtertechnologie: Dünne Funktionsschichten sind immer mit im Spiel.

Published in:

Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 3, doi. 10.1002/vipr.201970501

By:

Seyfert, Ulf

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Article

Titelbild: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. N.PAG, doi. 10.1002/vipr.201970508
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Bezugsquellen: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 47, doi. 10.1002/vipr.201970507
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Termine: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 46, doi. 10.1002/vipr.201970506
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Tagungen: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 44, doi. 10.1002/vipr.201970505
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Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 10, doi. 10.1002/vipr.201970503
Publication type:: Article

News: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2019.

Published in:: Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 6, doi. 10.1002/vipr.201970502
Publication type:: Article

Schichtabscheidung mittels Ionenstrahlzerstäuben: Grundlagen und Anwendungsbeispiele für die Erzeugung dünner Schichten mit maßgeschneiderten Eigenschaften.

Published in:

Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 25, doi. 10.1002/vipr.201900724

By:

Bundesmann, Carsten

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Article

Hochdurchsatzbeschichtungen für die Photovoltaik: Beitrag der Sputtertechnologie zum Erreichen der Pariser Klimaziele.

Published in:

Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 32, doi. 10.1002/vipr.201900723

By:

Seyfert, Ulf

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Article

Stabile Vakuumprozesse mit Dreh‐/Schiebedurchführungen: Ausloten von Geschwindigkeits‐ und Richtungsabhängigkeiten am Beispiel MeTraVac.

Published in:

Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 39, doi. 10.1002/vipr.201900721

By:

Rößner, Matthäus;
Blanz, Jonathan;
Haidu, Francisc;
Bergner, Klaus;
Flämmich, Michael;
Bergner, Ute

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Article

The Effect of Sputter Cathode Design on Deposition Parameters: Design enhancements expand capabilities for the magnetron sputtering of thin films.

Published in:

Vakuum in Forschung und Praxis, 2019, v. 31, n. 5, p. 14, doi. 10.1002/vipr.201900718

By:

Gaines, J.R.

Publication type:

Article