Works matching IS 0947076X AND DT 2010 AND VI 22 AND IP 4


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    Nanotechnologie.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2010, v. 22, n. 4, p. 26, doi. 10.1002/vipr.201000429
    By:
    • Werner, Matthias;
    • Barbré, Ingo Matthias;
    • Markanović, Mario
    Publication type:
    Article
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    Einfluss der HiPIMS-Parameter beim PVD-Verfahren.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2010, v. 22, n. 4, p. 22, doi. 10.1002/vipr.201000428
    By:
    • Slomski, Elena Maja;
    • Scheerer, Herbert;
    • Troßmann, Torsten;
    • Berger, Christina
    Publication type:
    Article
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    Kollektorbeschichtungen für die EUV-Lithografie.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2010, v. 22, n. 4, p. 17, doi. 10.1002/vipr.201090031
    By:
    • Perske, Marco;
    • Pauer, Hagen;
    • Yulin, Sergiy;
    • Trost, Marcus;
    • Schröder, Sven;
    • Duparré, Angela;
    • Feigl, Torsten;
    • Kaiser, Norbert
    Publication type:
    Article
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    Plasma Jet Machining.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2010, v. 22, n. 4, p. 10, doi. 10.1002/vipr.201000423
    By:
    • Arnold, Thomas;
    • Boehm, Georg;
    • Eichentopf, Inga-Maria;
    • Janietz, Manuela;
    • Meister, Johannes;
    • Schindler, Axel
    Publication type:
    Article
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