Works matching IS 0947076X AND DT 2008 AND VI 20 AND IP 6


Results: 15
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    EPX - die Ein-Pumpen-Lösung.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2008, v. 20, n. 6, p. 6, doi. 10.1002/vipr.200800369
    By:
    • Chew, Andrew D
    Publication type:
    Article
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    Überwachung der Plasmahomogenität.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2008, v. 20, n. 6, p. 12, doi. 10.1002/vipr.200800368
    By:
    • Michaeli, Walter;
    • v. Fragstein, Friederike
    Publication type:
    Article
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