Works matching IS 0947076X AND DT 2008 AND VI 20 AND IP 1


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    Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung.

    Published in:
    Vakuum in Forschung und Praxis, 2008, v. 20, n. 1, p. 28, doi. 10.1002/vipr.200800340
    By:
    • Kupfer, Hartmut;
    • Richter, Frank;
    • Kleinhempel, Ronny;
    • Blüthner, Ralf;
    • Raubold, Thomas
    Publication type:
    Article
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