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Interferometrisches Rasterkraftmikroskop: Aufbau, messtechnische Eigenschaften und Applikationsmessungen / Interferometric atomic force microscope: design, metrological properties and application measurements.

Published in:

Technisches Messen, 2018, v. 85, p. s52, doi. 10.1515/teme-2018-0023

By:

• Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya;
• Manske, Eberhard;
• Jäger, Gerd

Publication type:

Article