Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array.

Published in:

Electrical Engineering in Japan, 2018, v. 204, n. 2, p. 50, doi. 10.1002/eej.23104

By:

• UNO, A. K. I. K. O.;
• HIRAI, Y. O. S. H. I. K. A. Z. U.;
• TSUCHIYA, T. O. S. H. I. Y. U. K. I.;
• TABATA, O. S. A. M. U.

Publication type:

Article