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Plasmachemisches Ätzen und Beschichten bei Atmosphärendruck.
- Published in:
- Vakuum in Forschung und Praxis, 2011, v. 23, n. 6, p. 12, doi. 10.1002/vipr.201100473
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- Article
Mikrowellen-PECVD für kontinuierliche Großflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck.
- Published in:
- Vakuum in Forschung und Praxis, 2007, v. 19, n. 3, p. 22, doi. 10.1002/vipr.200700321
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- Article
PECVD and plasma etching at atmospheric pressure by means of a linearly-extended DC arc plasma source.
- Published in:
- Vakuum in Forschung und Praxis, 2007, v. 19, n. S1, p. 12, doi. 10.1002/vipr.200790035
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- Article
Plasmachemische Gasphasenabscheidung und Plasmaätzen bei Atmosphärendruck.
- Published in:
- Vakuum in Forschung und Praxis, 2006, v. 18, n. 4, p. 30, doi. 10.1002/vipr.200600294
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- Article