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    一种低频高灵敏度压电 MEMS 声接收器设计.

    Published in:
    Piezoelectrics & Acoustooptics, 2025, v. 47, n. 1, p. 28, doi. 10.11977/j.issn.1004-2474.2025.01.004
    By:
    • 王登攀;
    • 黄 晶;
    • 赵德锋;
    • 王 飞;
    • 王 露;
    • 刘文怡;
    • 苗晋威;
    • 张立宇;
    • 袁宇鹏;
    • 胡义东
    Publication type:
    Article
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