Works by 王忠保

热屏结构对 200 mm 半导体级提拉单晶硅中 氧含量分布的影响.

Published in:

Journal of Synthetic Crystals, 2023, v. 52, n. 6, p. 1110

By:

• 芮 阳;
• 王忠保;
• 盛 旺;
• 倪浩然;
• 熊 欢;
• 邹啟鹏;
• 陈炜南;
• 黄柳青;
• 罗学涛

Publication type:

Article