ナノダイヤモンドペレットを蒸着源に用いた アモルファスカーボン膜の作製Published in:Journal of the Japan Society for Abrasive Technology, 2024, v. 68, n. 5, p. 34By:田中一平;文東洋輔;大西亮多;木本訓弘;原田泰典Publication type:Article