顕微ラマン断層イメージングによる ワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測Published in:Journal of the Japan Society for Abrasive Technology, 2024, v. 68, n. 4, p. 202By:小貫哲平;柴教一郎;黒田隼乃介;茂垣有亮;尾嶌裕隆;清水淳;周 立波Publication type:Article
Al, Zn に対するPVD 膜の耐凝着性評価.Published in:Journal of the Japan Society for Abrasive Technology, 2024, v. 68, n. 4, p. 196By:後 裕介;田中一平;吉田大毅;原田泰典;南馬祐二;荻巣高志Publication type:Article