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Influence of Relevant Gas Pressure on the Properties of Ionplated Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub> Films.
- Published in:
- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 83, doi. 10.1002/vipr.200390024
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Grenzflächen-optimierte Mo/Si Multischichten als Reflektoren für den EUV Spektralbereich.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 76, doi. 10.1002/vipr.200390023
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Prüfung von Vakuumpumpen zur Verwendung in explosionsgefährdeten Bereichen nach der Richtlinie 94/9/EG (ATEX 95).
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 72, doi. 10.1002/vipr.200390022
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EUV-Lithographie für zukünftige IC-Chips.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 61
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Forschung & Entwicklung - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 102
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- Article
Produkte & Verfahren - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
- Published in:
- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 90
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Die Vakuumpumpe nach dem Scroll-Prinzip.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 86, doi. 10.1002/vipr.200390025
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Freeze Condensing Vacuum Systems Offer Advantages.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 67, doi. 10.1002/vipr.200390021
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Unternehmen & Personen - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 58
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Editorial - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 55, doi. 10.1002/vipr.200390018
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Bezugsquellen - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 107
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Ausstellungen & Vorträge - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 104
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- Article
Gesehen & Gelsen - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 103
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Schwerpunkt Achema - Vakuum in Forschung und Praxis 2/2003.
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- Vakuum in Forschung und Praxis, 2003, v. 15, n. 2, p. 100
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