Back to matchesWe found a matchYour institution may have rights to this item. Sign in to continue.TitleEinsatz von Sauerstoffmesszellen beim Plasmanitrieren.AuthorsBerg, Hans-Joachim; Zimdars, Heinz; Spies, Heinz-JoachimPublicationVakuum in Forschung und Praxis, 2005, Vol 17, Issue 1, p30ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.200500243