We found a match
Your institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.
- Title
Ein N‐heterocyclischer Carbenkomplex des Silbers für die plasmaunterstützte räumlich getrennte Atomlagenabscheidung dünner Silberschichten bei Atmosphärendruck.
- Authors
Boysen, Nils; Hasselmann, Tim; Karle, Sarah; Rogalla, Detlef; Theirich, Detlef; Winter, Manuela; Riedl, Thomas; Devi, Anjana
- Abstract
Ein Silberamidkomplex eines N‐heterocyclischen Carbens, (1,3‐Di‐tert‐butyl‐imidazolin‐2‐yliden)silber(I)‐1,1,1‐trimethyl‐N‐(trimethylsilyl)silanamid [(NHC)Ag(hmds)], wurde synthetisiert, mittels Einkristall‐Röntgenstrukturanalyse, 1H‐ und 13C‐NMR‐Spektroskopie und EI‐Massenspektrometrie analysiert, sowie bezüglich seiner thermischen Eigenschaften untersucht. Diese neue halogen‐ und phosphorfreie Vorstufe für die Atomlagenabscheidung (ALD) wurde in einem plasmaunterstützten räumlich getrennten (APP‐)ALD‐Prozess unter Atmosphärendruck für die Abscheidung dünner Silberschichten genutzt. Besonders reine und elektrisch leitende dünne Silberschichten mit einem geringen Flächenwiderstand von 0.9 Ω/sq (10−5 Ωcm) wurden bei 100 °C abgeschieden und mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie, Rasterelektronenmikroskopie, optischer Transmissionsspektroskopie und Rutherford‐Rückstreuspektrometrie untersucht. Die Carben‐basierte ALD‐Vorstufe und der zugehörige APP‐ALD‐Prozess ermöglichen zukünftige Anwendungen solcher Silberschichten. Verunreinigungen vorab vermeiden: Eine halogen‐ und phosphorfreie Carben‐basierte Silber‐Vorstufe wurde entwickelt und erfolgreich zur plasmaunterstützten räumlich getrennten Atomlagenabscheidung für das Wachstum dünner leitfähiger Silberschichten bei Atmosphärendruck verwendet.
- Publication
Angewandte Chemie, 2018, Vol 130, Issue 49, p16458
- ISSN
0044-8249
- Publication type
Article
- DOI
10.1002/ange.201808586