Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleInnovationsmotor Sputtertechnologie: Dünne Funktionsschichten sind immer mit im Spiel.AuthorsSeyfert, UlfPublicationVakuum in Forschung und Praxis, 2019, Vol 31, Issue 5, p3ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.201970501