Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleEinsatz physikalischer Analysemethoden zur Charakterisierung von dünnen Schichten und Grenzflächen in der Halbleiterindustrie.AuthorsZschech, Ehrenfried; Langer, Eckhard; Engelmann, Hans-Jürgen; Dittmar, Kornelia; Blum, WernerPublicationVakuum in Forschung und Praxis, 2001, Vol 13, Issue 1, p29ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/1522-2454(200101)13:1<29::AID-VIPR29>3.0.CO;2-6