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- Title
Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz.
- Authors
Müller, André F.; Falldorf, Claas; Ehret, Gerd; Bergmann, Ralf B.
- Abstract
Wir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich. We present a comparison of two interferometric methods to perform a form inspection of a cylinder lens with a single measurement. The first method, Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), is based on the measurement of the coherence function by means of a shearing interferometer. It allows interferometric measurements by simultaneously using several independent, partly coherent light sources, and enables thus a flexible lighting that can be adapted to the specimen. The method is compared with Computational Shear Interferometry (CoSI), which allows to measure wavefronts. Since both measurement methods rely on a shearing interferometer, a direct comparison under identical environmental conditions is possible.
- Publication
Technisches Messen, 2019, Vol 86, Issue 6, p325
- ISSN
0171-8096
- Publication type
Article
- DOI
10.1515/teme-2019-0025