Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleDünnschichtanlagen zur Herstellung von flachen Bildschirmen.AuthorsGegenwart, RainerPublicationVakuum in Forschung und Praxis, 1992, Vol 4, Issue 1, p35ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.2230040109