Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleHalbleiterbauelemente - Europäische Wettbewerbsfähigkeit sichern.PublicationVakuum in Forschung und Praxis, 1991, Vol 3, Issue 1, p7ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.2230030103