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- Title
A Novel Turbomolecular Pump for R&D and Analytical Applications.
- Authors
Funke, Ralf; Schnacke, Ernst; Voss, Gerhard
- Abstract
Eine neuartige Turbo-Molekularpumpe für Anwendungen in Forschung und Analytik Turbo-Molekularpumpen sind Hochvakuum-Pumpen, die sowohl zur Erzielung sehr niedriger Enddrücke im Bereich herunter bis zu 10−10 mbar als auch zur Erreichung von hohen Prozessgas-Flüssen im Druck-Bereich bis herauf auf 10−3 mbar eingesetzt werden. Saugvermögen und Kompression einer solchen Pumpe hängen wesentlich ab von der Größe des Einlass-Flansches, dem Design und der Rotationsgeschwindigkeit des Rotors und ggf. der Holweck-Stufe sowie von der Gas-Art der zu pumpenden Gase. Die Entwicklung der neuen TURBO-VAC i/iX Turbo-Molekularpumpe von Oerlikon Leybold Vacuum zielte auf die Realisierung hohen Saugvermögens und hoher Kompression insbesondere auch für leichte Gase ab. Sowohl Rotor-Design als auch Lagerkonzept wurden speziell auf diese Anforderungen optimiert, u. a. auch durch den Einsatz moderner Computer-Simulatonsmethoden. Das Konzept konnte sich bereits erfolgreich in Anwendungen der Analysen-Technik und Forschung bewähren.
- Subjects
INLETS; COMPRESSION loads; OERLIKON Leybold Vacuum GmbH; COMPUTER simulation; RESEARCH &; development
- Publication
Vakuum in Forschung und Praxis, 2015, Vol 27, Issue 2, p30
- ISSN
0947-076X
- Publication type
Article
- DOI
10.1002/vipr.201500577