Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleTagung des Fachverbandes / Fachausschusses Vakuumphysik und Vakuumtechnik - Vakuum in Forschung und Praxis 3/2008.AuthorsJitschin, WolfgangPublicationVakuum in Forschung und Praxis, 2008, Vol 20, Issue 3, p45ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.200890027