Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleStabile Vakuumprozesse mit Dreh‐/Schiebedurchführungen: Ausloten von Geschwindigkeits‐ und Richtungsabhängigkeiten am Beispiel MeTraVac.AuthorsRößner, Matthäus; Blanz, Jonathan; Haidu, Francisc; Bergner, Klaus; Flämmich, Michael; Bergner, UtePublicationVakuum in Forschung und Praxis, 2019, Vol 31, Issue 5, p39ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.201900721