Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleAbprodukte und Abgasentsorgung von Fluor- und Chlorverbindungen aus plasmachemischen Prozessen.AuthorsTiller, H.-J.; Meyer, J.; Berg, D.; Bürger, H.-D.PublicationVakuum in Forschung und Praxis, 1992, Vol 4, Issue 1, p43ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.2230040111