We found a match
Your institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.
- Title
Thermopile-IR-Arrays mit höchstem Auflösungsvermögen Thermopile IR-Arrays with highest resolution.
- Authors
Herrmann, Frank; Forg, Bodo; Schieferdecker, Jörg; Leneke, Wilhelm; Simon, Marion
- Abstract
Thermopile-Sensor-Arrays sind eine kostengünstige Alternative für die Aufnahme von Wärmebildern mit geringeren Anforderungen an die räumliche Auflösung. Durch Einführung neuer Herstellungstechnologien, insbesondere einer modifizierten monolithischen CMOS-Technologie mit geringen Strukturgrößen und strukturgenauer Oberflächenmikromechanik, ist es möglich geworden, Thermopilearrays mit Auflösungen von derzeit bis zu 3968 Bildpunkten herzustellen. Neuartige Verpackungstechnologien mit Gasen geringer Wärmeleitfähigkeit führen zu erhöhten Sensitivitätswerten von 400 V/W. Mit der Einführung von Vakuumgehäusen konnten sogar Sensitivitätswerte von 800 V/W gemessen werden. Thermopile sensor arrays are a low-cost option for taking thermal images with lower requirements for spatial resolution. A modified monolithic CMOS technology with smaller pattern size and surface micromachining with better structural precision makes thermopile arrays possible with a resolution of up to 3968 pixels so far. New packaging technologies using gases with low heat conduction lead to high values of sensitivity of 400 V/W. Measurements of sensors packaged in vacuum housings show even higher values of 800 V/W.
- Publication
Technisches Messen, 2014, Vol 81, Issue 3, p114
- ISSN
0171-8096
- Publication type
Article
- DOI
10.1515/teme-2014-1020