Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.Title液态金属泡沫柔性压力传感器设计及试验.Authors张东光; 王鑫鑫; 杨嘉怡; 王志民; 吴亚丽; 熊晓燕Abstract采用低弹性模量且具有高介电常数的材料作为电容式压力传感器的介电层,是一种提高传感器灵敏度与初 始电容信号的理想方法,然而这 2 个材料特性往往相互冲突。针对这一问题,提出了一种液态金属弹性体泡沫,其 具有较低的弹性模量 (10.2 kPa) 、较强的可压缩性 (70% 应变) 与高介电常数 (5.5~20.9) 。以该泡沫作为介电层,并 设计带有屏蔽层的柔性电极,研制了一种高灵敏度、大初始电容信号的柔性电容式压力传感器。试验结果表明,该 传感器灵敏度高达 0.36 kPa-1, 响应/恢复速度快 (<49 ms), 迟滞低 (8.7%), 同时可检测低至 4.9 Pa 的微小压力,具 有良好的稳定性与可靠性。此外,通过驰张筛筛板弯曲挠度变化测试验证了所研发传感器的有效性,与激光位移传 感器的测量结果对比表明,该柔性压力传感器可准确检测弛张筛筛板弯曲挠度的变化。PublicationJournal of Vibration, Measurement & Diagnosis, 2023, Vol 43, Issue 1, p119ISSN1004-6801Publication typeArticleDOI10.16450/j.cnki.issn.1004‑6801.2023.01.018