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- Title
Resolution enhancement through nearfield-assistance in interference microscopy.
- Authors
Hüser, Lucie; Lehmann, Peter
- Abstract
Um die Grenzen der optischen Messtechnik zu erweitern und feinere Strukturen messbar zu machen, wurden verschiedene Systeme in der aktuellen Forschung publiziert. Es wurde gezeigt, dass im Nahfeld aufgebrachte Mikrokugeln die Auflösung eines interferometrischen Messsystems verbessern und Strukturen unterhalb Abbe's Beugungsgrenze sichtbar machen können. In dieser Studie werden Messergebnisse mit einem hochauflösenden Linnik-Interferometer unterhalb der Auflösungsgrenze gezeigt. Des Weiteren werden simulative Analysen zum Phasenverhalten im Nahfeld der Mikrokugeln vorgestellt, um die theoretische Erklärung des superauflösenden Verhaltens von Mikrokugeln und die bildgebenden Prozesse des Systems zu ermöglichen. In order to push the limitations of optical measurement technology further and to make finer structures measurable, various systems have been published in current research. It has been shown that microspheres applied in the near-field can improve the resolution of an interferometric measuring system and make structures below Abbe's diffraction limit visible. In this study, measurement results obtained with a high-resolution Linnik interferometer show structures below the resolution limit. Furthermore, a simulative analysis of the phase behavior in the near-field of the microspheres is presented in order to find a theoretical explanation of the super-resolution behavior of microspheres and the imaging processes of the system.
- Subjects
OPTICAL measurements; IMAGING systems; IMAGE processing; INTERFERENCE microscopy; BEHAVIORAL assessment; MICROSPHERES
- Publication
Technisches Messen, 2020, Vol 87, ps28
- ISSN
0171-8096
- Publication type
Article
- DOI
10.1515/teme-2020-0013