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- Title
Dickenbestimmung transparenter Schichten mit einem chromatisch-konfokalen Sensor.
- Authors
Quinten, Michael
- Abstract
Die optische Bestimmung der Dicke transparenter Objekte oder dicker transparenter Schichten kann ziemlich einfach mit einem chromatisch-konfokalen Sensor durchgeführt werden. Die Dicke erhält man als Differenz zweier Distanzpeaks multipliziert mit dem Brechungsindex des Probenmaterials. Eine detailliertere Analyse zeigt jedoch, dass das Ergebnis korrigiert werden sollte mit einem Faktor, der die Lichtbrechung genau berücksichtigt. In dieser Veröffentlichung wird dieser Faktor abgeleitet und diskutiert, und es werden tabellierte Werte für einige Brechungsindizes und verschiedene Aperturwinkel des chromatisch-konfokalen Sensors angegeben. Optical thickness determination of transparent objects or thick transparent layers can be carried out rather simple using a chromatic confocal sensor. The thickness is obtained as the difference between two distance peaks multiplied with the refractive index of the object's material. A more detailed analysis reveals that this result should be corrected by a factor that considers the refraction. In this paper the correction factor is derived and discussed, and tabulated values are given for different refractive indices and aperture angles of the chromatic probe.
- Publication
Technisches Messen, 2019, Vol 86, Issue 6, p345
- ISSN
0171-8096
- Publication type
Article
- DOI
10.1515/teme-2019-0059