Back to matchesWe found a matchYour institution may have access to this item. Find your institution then sign in to continue.TitleAuslegung und Fertigung von UHV‐Kammern: Grundlegende Gedanken für den Weg zum Ultrahochvakuum.AuthorsTümmel, StephaniePublicationVakuum in Forschung und Praxis, 2019, Vol 31, Issue 4, p29ISSN0947-076XPublication typeArticleDOI10.1002/vipr.201900719